五、结束语
控制系统中的干扰是一个十分复杂的问题，只有设计工程师在设计过程中做到“未雨绸缪，防微杜渐”，坚持“预防是最有效、最经济的方法”的准则，来综合和全面的考虑各方面的因素，才能够有效地避免系统干扰的的发生，从而保证设备稳定可靠的运行。
ROS（Robot OperatingSystem）是开源的机器人系统平台。使用这个之后，机器人就可以看见东西、测绘、导航，或是以最新的算法作用于周围的环境当中。假如想要制造复杂的机器人，已经准备好的ROS程序代码就能派上用场。ROS能在最低限度下运用。这可以透过Raspberry Pi等级的计算机安装。
做为ROS的入门篇我们来看看如何控制伺服机。伺服机的缺点是会尽快遵照指令运转，因此头部常常会突然活动，以至于失去平衡。不过使用ROS之后，就可以进行正弦曲线运动，让机器人保持稳定。由于可以在ROS当中进行这项操作，因此无须改写控制用的程序代码。另外，连接伺服机和ROS的程序代码，以及伺服机的硬件都无须变更。再者，程序代码还可以任意使用。
ROS很适合用在Ubuntu或Debian上，无须编译。建置时要在Linux机器上执行Ubuntu，使用业余用伺服机、Arduino和普通的导线。ROS要在Ubuntu机器上启动，讯息则透过USB传送到Arduino。只要安装二进制的ROS套件，就会在主控台程序（像是gnome-terminal或konsole）追加以下指令，这样Arduino系统就能辨识ROS函式库。
接下来要将程序代码上传到Arduino当中，执行低阶的伺服机控制，以便能从Linux机器操作。这时要以限制范围内的百分比（0.0～1.0）指定伺服机的位置。之所以使用百分比而不是写明角度，是因为Arduino的程序代码限制了正确的角度，要避免在指定角度时发生冲突。

ENI MKS NOVA-25A RF Generator 2500W NOVA-25A-01 Rev.F n...
 
 
Advanced Thermal Sciences NX-20A-DI Temperature Control...
 
 
LAM OnTrak Synergy Integra Wafer Scrubber Parts System
 
 
Schlumberger ITS9000FX IC Test System Parts Tool
 
 
KLA-Tencor Prometrix FT-750 Film Thickness Measurement
 
 
TEL Unity 2 Control Rack U2-855DD for parts
 
 
Therma-Wave OptiProbe 2600B Film Measure Module
 
 
Kensington 200mm CSMT-4 Wafer Mapping Station 4000D
 
 
ETO Generator Rack 80-S03-CE untested 0190-40009
 
 
SMC Thermo-Con TEL ACT 8 SOG Temp Cont. INR-244-211T-24
 
 
ETO 80-S03 RF Generator Rack 0190-40009 Untested
 
 
Seiko Seiki STP-A2503PV Turbomolecular Pump working
 
 
 
PRI Wet Robot WTM-511-2-FWS02​-V1 new 0195-02882
 
 
ENI GHW-50A Genesis RF Generator Rev.B GHW50A-13DF3H0-​0...
 
 
MKS ASTeX ASTRONi RPS Remote Plasma Source AX7670-62 wo...
 
 
KLA-Tencor SP1 Lens Module 0057637-000 Rev.AB working 0...
 
 
AMAT Applied Materials P5000 Mini-Controller 0010-76036...
 
 
SMC INR-498-P031 Recirculating Unit Heat Exchanger 0190...
 
 
CTI-Cryogenics ON-BOARD-IS-8F Cryopump 0190-19390 refur...
 
 
PTI TEL ACT 8 12 Exhaust Controller Sentry 1000 w/ TIM
 
 
Bilz HAB 1000 BiAir Air Spring Isolator Leg Set working
 
 
Novellus Concept Two Altus C2-DLCM Mainbody Frame
 
 
SVG Procell Electronics Cabinet & Components NSK
 
 
Daifuku Pod Opener Loadport PO-125M0016 Working
 
 
Tokyo Electron ACT 12 Front Opening Unified Pod B-Type
 
 
CTI-Cryogenics High Capacity Compressor 0190-27351
 
 
Materials Research Corp. Eclipse Star Chamber Assembly
 
 
Invax Tech. Electrostatic Chuck 300mm PVD 02425-011
 
 
 
Edwards Vacuum Turbopump STP-XH2603P new 3620-00368
 
 
 
MKS RPG-50Z Optima DC Power Supply 0920-00133 New
 
 
 
Novellus Concept II Two C2-DCLM-S Untested (For Parts)
 
 
Novellus Concept II Two C2-DCLM-S Untested (For Parts)
 
 
 
Rorze Robot w/ Control RR721L202H-H30-​1CA 0190-01152
 
 
 
Nor-Cal Intellisys 3870-05190 Pendulum Valve new
 
 
Leybold Cryopump Coolvac 1500 rebuilt 0190-12092
 
 
ENI OEM-1250 RF Generator 0920-01035 new 1250W
 
 
VAT 200 ISO Pendulum Actuator Gate Valve 3870-00387 new
 
 
Hitachi 3-83818-01R Pearl Kogyo RF Generator LP-150
 
 
ASML Control Card Module 4022.470.7782 working
 
 
ENI Spectrum B-5002 RF Generator 5kW refurb 0920-00062
 
 
Staubli ASML Robot Arm PUMA 260B rebuilt
 
 
AMAT Quantum Heat Exchanger 0240-61428